十萬級無塵室之無塵室的特性：
（1）耐久性；（2）清洗；（3）成本；（4）適應性；（5）可維護性。
十萬級無塵室之無塵室的耐久性
無塵室要有符合環境、無塵室內部的清洗溶液及振動、設備、空氣過濾系統的耐久材料。而耐久性，同時也依賴無塵室等級來建造。半導體 Fabs 傾向選擇鋁，基于它的耐久性，然而，它不是便宜的物質。
十萬級無塵室之無塵室的清洗
在制藥和生物工學工業，無塵室的墻壁需要有容易被清洗和擦拭，直到防止濾過性病毒或細菌的污染之特性。在 biotech 市場，清洗真正地是一個最重要的企業。
十萬級無塵室之無塵室的成本
微電子 C/R 建設費可能花費到億。fab 能更快的被建造起來，產品也就能更快達到這市場。許多半導體公司的口號是較便宜和較好的。然而 "錢" 將成為一個很重要的考慮因素。
十萬級無塵室之無塵室的適應性
一些廠商認為適應性可節省一筆金錢，而適應性意指系統可任意移動或改變而不會招致極大的損失。C/R 的擁有者和設計者的能力為改變一 C/R的關鍵，所以他們從不將最初的設計定型。
十萬級無塵室之無塵室的維護性
對無塵室 C/R 而言，較嚴格要求的部分為地板、天花板，以及墻壁的部分。至于維修的問題，對材料的選擇是否容易清潔性及維修性都應有其優先級。在應用力面、天花板、地板及墻壁三者之中最重要的為天花板，其包含　HEPA　及　ULPA　等濾網，其可過濾掉房間的微粒子，且其常會因各個不同的需要，便其分開來，供應各個不同區域的小房間，曾有人說 ：若建造之預算因某種原因被限制，除了少數的小錢外，其天花板將趨于更貴的地步，其實天花板是一個頗復雜的系統其必須嚴格地過濾粒子，故其設計必須精確。
許多了解無塵室的人都贊同，第一次擁有無塵室的擁有者，應使用較好之C/R 建筑或工程設計公司或了解建筑　C/R　設計之建筑承包商若假設他們不了解， 則必會浪費一大筆不必要花的錢，故選擇一建造C/R 的公司也是非常重要的。
對 C/R 而言，其選擇地板的材料也是很重要的。低廉的 C/R 地板覆蓋著一層乙烯基在薄板上，若太硬的地板覆蓋會引起塵埃，而太軟的地板會造成地板彎曲甚致破裂，但并不是所有 C/R 的地板，都會覆蓋，乙烯基。有些地板是沖孔式、格子式，而全面層流都是沖孔式。
乙烯基有一作用即脫氧，但高濃度乙烯基與其它物若混合的話將會有減低脫氧的效果，而無塵室的墻若以鋁作為材料則將會非常昂貴，但鋁卻可以保護墻面不被空氣所氧化，可是卻易受酸性氣體的侵蝕，而避免的方法是使用電鍍，便鋁表面增厚，不易氧化，再在鋁表面上再涂上一層亮光漆即可防止金屬氧化。
對于半導體工業而言，無塵室是一必要且不可缺之設備，其對空氣中的粒子要求非常之嚴格，故對天花板、墻壁、地板的要求亦非常嚴格。地板是人員、臺車及重量的運輸，而清除地板所用者大部分為消毒藥品及化學藥品，當我們看見地板磨損時，也就是使用期已太久，快破裂了，不僅會使得清靜度的降級，也會因地板的磨損而發生空氣中粒子的增加。
另外，C/R最怕的就是粒子泄漏。天花板中的濾網有很多種。例如層流式 C/R 而花板的組成組件包含了HEPA/ULPA 濾網組燈光組亦有可能包含空白的嵌板，這類型的天花板優點為，放置方式并沒有嚴格的限制。
C/R 之墻壁還有一種是以薄鋼制成，但必須在表層涂上一層保護層，否則亦會腐蝕，它并不容易電鍍，而在表層涂上的保護層會變得易碎，很容易剝落，但若選擇高質量的不銹鋼，就不必涂上保護層7，而使用玻璃作的 C/R 會使得房間的光線大增，以及美觀，但必須涂上一抗紫外線的障礙物，且可以視覺互通，較不會產生幽閉恐懼癥。

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