無塵車間工程：對于過濾器檢的測試

無塵車間工程設施過濾器系統檢漏這項測試旨在驗證設施不存在旁路泄漏，過濾器不存在缺陷（過濾器介質和密封框架上的小眼及其他損傷）與泄漏（過濾器框架和密封墊圈上的旁路泄漏，過濾器安裝架的泄漏），從而確認終端高效過濾器安裝良好。

無塵車間工程程測試是這樣進行的：在過濾器上風向引入測試氣溶膠，并立即在過濾器的下風向對過濾器、其支撐架進行掃描，或在下風向的風管中采樣。B．6中給出了2種不同的檢漏方法。氣流目檢這項測試的目的旨在確定設施內氣流的平穩度、氣流模式及氣流在空間與時間上的其他特性。測試程序見B.7。風向測試這項測試，旨在檢驗整個單向流潔凈區的風向。測試程序見B.8。“4.2.7溫度與濕度均勻性測試這項測試旨在證明潔凈室空氣處理系統在所測區域內、在客戶規定的時間段里將空氣的溫度和濕度（以相對濕度或露點表示）控制在限值以內的能力。這些測試的程序見B.9與B．lo。

靜電和離子發生器測試這些測試旨在檢定物體上的靜電電壓、材料的防靜電性，在設施中進行靜電控制所使用的離子發生器（即電離器）的性能。靜電測試旨在檢定工作表面和產品表面的靜電電壓，地板、工作臺頂部的防靜電性能等。離子發生器瀏試旨在檢定離子發生器對表面靜電的清除性能。測試程序。